■控制系统特点 |
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◆ 可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步 | ◆ 工艺曲线的自动运行控制功能 | ◆ 自动运行中可暂停/继续运行功能 |
◆ 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能 | ◆ 可存储多组PID参数供系统运行调用功能 | ◆ PID参数自整定功能 |
◆ 具有自主知识产权的软件系统,良好的人机界面 | ◆ 系统故障自诊功能 | ◆ 工艺气体的程序控制功能 |
◆ 停电后断点继续运行功能等等 | ◆ 关键件全部具有高可靠性 | ◆ 具有历史记录功能 |
◆ 具有多种故障报警及各种安全互锁保护功能 | ◆ 具有多点温度补偿 | |
★ 该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能 |
■ 主要技术指标 |
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◆ 可配工艺管外径:2~8英寸 | ◆ 可配工艺管数量:1~4管/台 |
◆ 恒温区长度及精度:300~1250mm 800~1300℃±0.5℃ | ◆ 工作温度范围:400~1300℃ |
◆ 单点温度稳定性:800~1300℃ ±0.5℃/24h | ◆ 最大可控升温速度:15℃/min |
◆ 最大降温速度:5℃/min | ★ 青岛赛瑞达可为用户量身定制非标准产品 |